Näin valmistetaan erittäin ohuita timanttileikkauslevyjä
Feb 26, 2023
Jätä viesti
0.04 mm:n timanttinen ultraohut leikkauslaikka on itse asiassa valmistettu tällä tavalla!
Ultraohuet timanttileikkuulevyt ovat vähitellen kiinnittäneet ihmisten huomion etujensa ansiosta, kuten ultraohut leikkausuran leveys, tasainen leikkausmurtuma, alhainen hylkäysnopeus ja korkea leikkaustehokkuus. Tällä hetkellä käytetyt tavalliset terät voidaan karkeasti jakaa kahteen tyyppiin: galvanoituihin teriin, joiden paksuus on 15-100 μm, ja hartsiteriin, joiden paksuus on 100-500 μm. Tänään toimittaja löysi tuotantomenetelmän, jolla voidaan saavuttaa 40 μm. Toivon voivani jakaa ja keskustella hiontaystävien kanssa~
1 Yleiskatsaus
Ultraohuita timanttileikkauslevyjä käytetään laajalti suurten integroitujen piirien, tietokonesirumateriaalien ja muiden arvokkaiden puolijohdemateriaalien leikkaamiseen maailmassa. Aiemmin kotimaani Shanghaissa sijaitseva tutkimuslaitos yritti valmistaa tätä tuotetta, mutta koeolosuhteiden tuolloin rajoitusten vuoksi siihen liittyviä tuotteita ei nähty. Ultraohuita timanttileikkuulevyjä valmistetaan tällä hetkellä pääasiassa Yhdysvalloissa ja Japanissa, ja niitä käytetään yhdessä maahantuotujen leikkauslaitteiden kanssa. Leikkausnopeus on yli 30,000r/min ja sitä tukevat ilmalaakerit. Leikkausesineellä on tiukat vaatimukset viillolle, ja siihen on helppo lyödä veistä. Laajan tutkimuksen ja kovan kokeellisen tutkimuksen jälkeen olemme onnistuneesti kehittäneet päteviä tuotteita tuotantoon komposiittisähköpinnoitusmenetelmällä ja saaneet kansallisia patentteja.
2. Kokeellisen tutkimuksen pääkohdat
1. Määritä käytetyt timanttiparametrit;
2. Erityisen kemiallisen muunnoskalvon valmistus;
3. Säädä tarkasti terän paksuutta Vähemmän tai yhtä suuri kuin 40 μm;
4. Veitsen rungon pinta on sileä eikä siinä ole kyhmyjä;
5. Terän lujuuden ja sitkeyden on oltava riittävä sen varmistamiseksi, että terä ei osu tai taipu erittäin suurilla nopeuksilla ja että terän leveys on pienempi tai yhtä suuri kuin 50 μm;
3. Prosessimenetelmä
3.1 Timanttiparametrien määrittäminen
Työkalun paksuuden, käyttötarkkuuden vaatimusten ja timanttityökalun periaatteen mukaan käytettäväksi timantiksi määritetään korkealaatuinen mikroyksikidekide. Testissä käytettiin kotimaista rikottua kidetimanttijauhetta, jonka hiukkaskoko on 10 μm, ja korkealaatuista mikroyksittäistä kitettä, jonka hiukkaskoko on 5 μm, käytettiin käytännön vaiheessa. Valitut timantit seulotaan tiukasti liuossedimentaatiomenetelmällä.
3.2 Kemiallisen muunnoskalvon valmistus
3.2.1 Kemiallinen konversiopinnoite ja sen vaatimukset
Kemiallinen muunnoskalvo on erityinen johtava kalvo, joka on valmistettu katodisubstraatille ennen sähköpinnoitusta. Sen vaatimukset ovat:
1. Sillä on hyvä sähkönjohtavuus, jotta sähkösaostusprosessi voi edetä sujuvasti;
2. Estä sähkösaostusmateriaalin ja alustan vahva yhdistelmä ja helpota pinnoitteen irrottamista.
Erilaisten testien jälkeen tulokset osoittavat, että austeniittisen ruostumattoman teräksen fosfaattikemiallinen konversiopinnoite on paras.
3.2.2 Valmistelu
Fosfaattikemiallinen konversiopäällysteen kaava (g/L): 5 oksaalihappoa, 15 fosforihappoa, 4 natriumoksalaattia, 10 dinatriumfosfaattia, 5 natriumkloraattia. Käyttöolosuhteet ovat: ympäristön lämpötila 20 astetta, työaika 5 min.
3.3 Terän valmistusmenetelmä
3.3.1 Rungon galvanointi
Ni-Co-timanttimikrojauhehiutaleet kerrostettiin ruostumattomasta teräksestä valmistetun katodisubstraatin päälle konversiokalvolla, joka oli valmistettu komposiittielektrodipinnoitusmenetelmällä. Pinnoitusliuoksen kaava on (g/l): nikkelisulfaatti 220~240, kobolttisulfaatti 15~30, boorihappo 25~35, natriumkloridi 10~20, patentoitu lisäaine nro 1 0,6-0,8, patenttilisäaine nro 2 0,08-0,1, timanttijauhe 5-10. Käyttöolosuhteet ovat: galvanointilämpötila 45-50 astetta, pH-arvo 4,1-405, Dk=2A/dm2, ilmapumpun sekoitus, ajoittainen aika 10 min.
3.3.2 Paksuuden säätö
Tuotteen paksuus säädetään tarkasti 35 μm:iin käyttämällä yksilevyisen tietokoneen paksuussäädintä. Nykyinen ongelma on "nodulaation" tiukka hallinta, ja olemassa oleva patentoitu prosessimenetelmä ratkaisee kerrostetun kerroksen "nodulaatio"-ongelman.
3.3.3 Kuoriminen
Lämpökuorintatekniikalla menetelmä on sisällytetty patenttiin.
3.3.4 Kylmäleimaus
Kuorittu arkki lävistetään ja muotoillaan erityisellä kovametallimeistillä kylmäpuristusmuovauskoneessa, ja tuote on esitetty kuvassa 1.
3.3.5 Telineen asennus
Leikkuulevy kiinnitetään suoraan ilmalaakerin käyttämään laippaan. Leikkuulevy omalla kannakkeella liimataan alumiiniseoslaippaan liimalla erityisellä päällystyskoneella kuvan 2 mukaisesti.

4. Tuotteen käyttövaikutus Puh:400-010-0000
20 tuotetta valittiin ja testattiin puolijohdetehtaassa. Tulokset on esitetty taulukossa 1.

Testitulokset täyttävät leikkausvaatimukset ja kustannukset alenevat, mikä on valmistajien tervetullutta. Tällä hetkellä tuotetta teollistetaan.
5. Päätelmät Puh:400-010-0000
Tässä tutkimuksessa määritettiin ultraohuiden timanttileikkauslevyjen valmistukseen käytetyt timanttiparametrit ja substraatin kemiallisen muunnoskalvon tehokas valmistusmenetelmä katkaisulevyjen galvanoinnissa, kehitettiin tällaisten leikkauslaikkojen komposiittisähköpinnoituksen valmistusprosessia ja valmistettiin tämän perusteella. tuotantoluokka Käytä päteviä tuotteita. Tämän tutkimuksen teollistumisnäkymät ovat laajat.
Lähetä kysely
